Mehansko brušenje z eloksiranjem
Pod mikronske srebrne črte se vzorčijo z uporabo kemično mehanskega poliranja (CMP). Posušene jedkane SiO 2 jarkice so napolnjene z Ag z razprševanjem, preden odstranimo presežek Ag z več metodami CMP. Tehnike, ki uporabljajo gnojevko, ki se osredotoča na mehansko poliranje, imajo težave pri doseganju ravne odstranitve kovine. Toda z večinoma kemično poliranje je možna homogena odstranitev z ustreznimi vgrajenimi črtami. Rezultat takšnega postopka so toplotno robustne in gladke obdelovalne linije Ag.
